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第八十四章 晶圆制备工艺 (2/4)

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借鉴和参考,把这帮技术专家们坑得苦不堪言。

&些生产设备都是按照我的要求造的吗,没有问题把?”凌世哲心里的愧疚很快就他抛到九霄云外去了,他已经完全的变成了一个资本家,如何获取最大利益已经成为了本能,现在他只关心这些制造的生产设备有没有问题。因为这关系到这套工艺能够多快的投入到生产。

克里斯托弗点了点头,用肯定的语气说道:“这些设备都是我们自己设计和制造的,这套工艺和各个设备我们都建立了相关的各种数学模型,完全符合模型的要求,有关的实验我们都认真的做过验证,那些工程师的经验相当的丰富,总体上是没有问题,现在我们遇到的问题与其说是工艺设备研发的问题,还不如说是新设备和新工艺生产调试的问题。boss,我有信心在半年之内就能攻克它,到时候24英寸晶圆片会大量源源不断的生产出来,质量稳定,品质可靠。”

王海华也跟着点了点头,听到他们的话里充满了强大的自信,凌世哲也松了口气,如果真像克里斯托弗说的那样,那就太好了,半年时间甚至一年的时间他等得起,到时候24英寸晶圆厂投产,他的芯片工厂的产能就会在原基础上大幅提高好几倍。

三人离开了晶圆检测间,向其他生产区走去。

硅是极为常见的一种元素,但它极少以单质的形式在自然界中出现,而是已复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式,广泛存在于岩石、沙硕、尘土之中。硅在地壳中是第二丰富的元素,构成地壳总质量的25.7%,占地壳中的四分之一,仅次于第一位的氧>

硅包括晶态和无定型两种同素异形体,晶体硅为灰黑色,无定形硅为黑色。晶体硅又分为单晶硅和多晶硅,它们都具有金刚石晶格,硬而有金属光泽,有半导体性质。

半导体芯片的原料是单晶硅,多晶硅是单晶硅的原料,也是太阳能片以及光伏发电的基础材料。

多晶硅按纯度分为冶金级多晶硅(俗称工业硅)、太阳能级多晶硅和电子级多晶硅。

凌世哲设计的这套工艺,并不是从硅晶矿开始从头到尾的方式来生产,而是直接采用工业硅为原料来生产,其大体的工艺流程为工业硅―――多晶硅――单晶硅。

目前高纯度多晶硅制备普遍采用的是三氯氢硅还原法制备高纯硅,这种方法是西门子公司发明的,所以又被称为西门子法制备高纯硅。

由于涉及到西门子的专利问题,所以凌世哲采取了另外一种高纯硅制备方法――硅烷热分解法。

硅烷热分解制备高纯硅,是后世共和国的普遍采用的一种方法,它相比西门子法,其工艺简单、安全性相对较高(西门子法要用到大量的**)成本低、提纯度高、污染少,是在未来具有大发展前景的高纯硅制备法。

它分为硅烷的制备、硅烷的提纯、硅烷分解沉积出高纯多晶硅三个步聚。

硅烷的制备方法很多,凌世哲用的是后世广泛采用的硅化镁分解法来制备硅烷,其生产方法是,把磨成粉末的工业硅的硅粉和镁粉进行混合,然后在氢气中加热并产生化学反应,生产硅化镁。

硅化镁在与固态氯化铵在低温液氨中进行反应,最后得到硅烷。这种方法安全、可靠、除杂效果良好,特别是除硼效果相当好,除此以外硅烷的纯度相对较高,是一个非常好的制造方法。

硅烷生产出来以后,就要进行提纯,硅烷的分子式为sih4,它在常温下气态,气体的提纯比液体和固体容易,硅烷沸点与各种杂志相差加很大,所以他采用的第一个方法就是利用低温液化法去除硅烷中的水和氨,在用精馏提纯除去

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(本章完)