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第八十四章 晶圆制备工艺 (1/4)

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&姆,我们公司正在积极扩大加拿大的芯片产业园,但是在我看来老是这么扩不是个办法,关键还是要在晶元制备上想办法,现在的单晶硅直径只有3英寸,我们需要更大直径的单晶硅,才能真正的提高产量,去年我给你的24英寸单晶硅制备工艺,你完成到哪一步了?”

克里斯托弗看了看王海华,对凌世哲说道:“boss,今天你不问我也要向你汇报这件事,这也是我来这里的原因,boss你跟我来,现在我们到晶圆制备实验工厂去看看。”

凌世哲三人换了衣服上车,汽车驶出芯片实验工厂,向西行驶了一公里左右来到一个较大的工厂里面,三人再次换了衣服进入超洁净实验生产车间。

另凌世哲感到奇怪的是王海华对这里居然非常的熟悉,克里斯托弗看出了凌世哲的脸上的疑惑,解释道:“boss,新晶圆制备工艺你去年交给我负责以后,鉴于公司的人手不足,我就跟香港计算机学院进行了合作,当时我向你通报过这件事情。”

听他这么一说,凌世哲拍了拍自己的头,居然把这件事搞忘了,当时香港安布雷拉工业公司所有的精力都放在了新型cmos芯片工艺制造技术上面去了,24英寸晶圆制备技术实在是抽不出多少人来,于是克里斯托弗想到计算机学院,就向凌世哲打了份报告,合作研究,凌世哲看到报告后马上就签了字,没想到自己把给忘了,既然是合作研究,王海华当然熟悉这里了。

&歉,我把这事给忘了。”

&关系boss,谁都有忘了的时候。”

两人把凌世哲带到一个类似于仓库的房间,地上放了很多个不同尺寸的晶圆棒,有的是一根整体,有的干脆从中间切成了好几段,还有的被切成了一片片薄薄的晶圆片。

另一边有一处检验台,上面摆放了各种晶圆检测设备,几名工作人员坐在显微镜前,对着一张张晶圆进行检查。

凌世哲看到这么多大小不同尺寸的单晶硅,疑惑的问道:“吉姆,我给你的资料不是24英寸晶圆的工艺制备技术吗,怎么你这里的晶圆尺寸大大小小都有,怎么回事?”

&是这样的,我们现在对新工艺技术的掌握并不熟,现在还在摸索之中,生产出来的晶圆棒很不稳定,有的特别的好,24英寸都没有一个坏点,有的就很差,上了5英寸都有坏点。为了掌握这套新工艺,我采取了从细到粗的笨办法,先六英寸,在9英寸,这样一点一点提高,虽然慢了点,但工人们对新工艺技术的掌握的熟练度上也提高了不少。”

&在你们能够达到多少英寸无坏点?”

&三英寸。”克里斯托弗肯定的回到到。

&错嘛,这套新工艺你们掌握的很快嘛。”

这时候王海华插话道:“没这么简单,这套新工艺太过于先进,技术相当复杂,工人们在生产操作中要掌握的要点太多太多,不要说是那些工人,就是我们这些教授工程师都拿着头疼,所以光靠人工来操作是很不现实的,必须实现自动化,光是采集工人们的操作数据就要花费很多时间,各种设备出现的各种故障的处理措施的相关数据也要采集,各种软件也要编写,数控系统的调试等等,有太多太多的问题等着我们去解决。问题不但复杂挠人,又都是水磨工夫。”

凌世哲的脸略微红了一下,在晶元制备的历史上都是三英寸、六英寸、九英寸、十二英寸这样一个台阶一个台阶过来的,但现在他为了自己的经济利益,直接从三英寸直接跳到二十四英寸,略过中间很多的步聚,自然让克里斯托弗和王海华以及那些生产工人感到相当的困难,什么都要从头摸索,没有一点的经验可以

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